美国微磁CS1000磁扫描显微镜

 产品概述: Circuit Scan? 1000磁扫描显微镜

工作状态中的半导体芯片会在器件表面附近产生外界磁场。这些磁场，虽然强度弱，却包含了芯片中电流强度的空间变化信息。微磁公司开发的CS1000可以实际分析应用这些信息，非损坏性地向工程技术人员展示芯片内部的工作情况。

CS1000是一台磁扫描显微镜。它可以捕获工作状态中的芯片产生的外界磁场，并对这些磁场进行分析，展示出电流强度的分布图像，其空间分辨度在几十个纳米级别。该系统采用具有知识产权，超敏感，高空间分辨率的亚微米级的磁传感器技术。这一技术最初由布朗大学的纳米物理及器件研究小组开发成功。
CS1000可以穿过绝缘体或非铁磁层绘制极小数量级的电流图像。它对芯片中电流信号具有非常好的线形关系。拥有知识产权的磁传感器具有宽范围的频率响应（0－5GHZ)和好的温度特性，不需要特殊的环境要求。另外，CS1000具有杰出的空间分辨度，截至目前，空间分辨度可以达到60纳米，远远小于目前半导体工业中先进的器件内部的导线宽度。
CS1000一些标准配置及功能，包括光学导航或近红外线导航，感兴趣区域的选择，磁场和电流强度图像的自动重叠，样品表面探测和绘图，样品倾斜度和轮廓曲线自动修正，五种不同的接触和非接触扫描模式，1个小接触面积的垂直磁传感探头，光学图像的自动弥合，自动变化测量参数的"重复扫描"功能，以及一整套自动矫正功能。
该系统同时包括一套独立的功能强大的VISTA分析软件，该软件具有灵活的数据展示方式及解释形式。一套量化分析软件用于择取所有的与电流参数相关的信息（包括电流幅度和导线宽度及深度），2套强大的电流强度转换算法，压缩数据文件类型，数据图像输出为常见文件类型，一套图像对比软件以及磁场图，电流图，和光学图的自动叠加功能。

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